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A user's guide to ellipsometry

저자: Harland G Tompkins
출판사: Boston : Academic Press, ©1993.
판/형식:   인쇄본 : 영어모든 판과 형식 보기
요약:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  더 읽기…

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상세정보

장르/형태: Case studies
Cas, Études de
추가적인 물리적 형식: Online version:
Tompkins, Harland G.
User's guide to ellipsometry.
Boston : Academic Press, ©1993
(OCoLC)645782036
자료 유형: 인터넷 자료
문서 유형 도서, 인터넷 자원
모든 저자 / 참여자: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
OCLC 번호: 26503363
설명: xv, 260 pages : illustrations ; 24 cm
내용: Ch. 1. Theoretical Aspects --
Ch. 2. Instrumentation --
Ch. 3. Using Optical Parameters to Determine Material Properties --
Ch. 4. Determining Optical Parameters for Inaccessible Substrates and Unknown Films --
Ch. 5. Extremely Thin Films --
Ch. 6. The Special Case of Polysilicon --
Ch. 7. The Effect of Roughness --
Case Studies --
Case 1. Dissolution and Swelling of Thin Polymer Films --
Case 2. Ion Beam Interaction with Silicon --
Case 3. Dry Oxidation of Metals --
Case 4. Optical Properties of Sputtered Chromium Suboxide Thin Films --
Case 5. Ion-Assisted Film Growth of Zirconium Dioxide --
Case 6. Electrochemical/Ellipsometric Studies of Oxides on Metals --
Case 7. Amorphous Hydrogenated Carbon Films --
Case 8. Fluoropolymer Films on Silicon from Reactive Ion Etching --
Case 9. Various Films on InP --
Case 10. Benzotriazole and Benzimidazole on Copper --
Case 11. Gas Adsorption on Metal Surfaces --
Case 12. Silicon-Germanium Thin Films --
Case 13. Profiling of HgCdTe --
Case 14. Oxides and Nitrides of Silicon --
Appendix A: Del/Psi Trajectory Calculations --
Appendix B: Effective Medium Considerations --
Appendix C: Literature Values of Optical Constants of Various Materials.
책임: Harland G. Tompkins.
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