naar inhoud
A user's guide to ellipsometry Voorbeeld van dit item
SluitenVoorbeeld van dit item

A user's guide to ellipsometry

Auteur: Harland G Tompkins
Uitgever: Boston : Academic Press, ©1993.
Editie/materiaalsoort:   Gedrukt boek : EngelsAlle edities en materiaalsoorten bekijken.
Samenvatting:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Meer lezen...

Het online exemplaar van dit item wordt opgehaald... Het online exemplaar van dit item wordt opgehaald...

Zoeken een exemplaar in de bibliotheek

Bezig met ophalen van informatie over de locatie en beschikbaarheid van dit item... Bezig met ophalen van informatie over de locatie en beschikbaarheid van dit item...

WorldCat

Vind het in bibliotheken wereldwijd
Er zijn elders in de wereld bibliotheken die dit item in bezit hebben

Gegevens

Genre/vorm: Case studies
Cas, Études de
Aanvullende fysieke materiaalsoort: Online version:
Tompkins, Harland G.
User's guide to ellipsometry.
Boston : Academic Press, ©1993
(OCoLC)645782036
Materiaalsoort: Internetbron
Soort document: Boek, Internetbron
Alle auteurs / bijdragers: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
OCLC-nummer: 26503363
Beschrijving: xv, 260 pages : illustrations ; 24 cm
Inhoud: Ch. 1. Theoretical Aspects --
Ch. 2. Instrumentation --
Ch. 3. Using Optical Parameters to Determine Material Properties --
Ch. 4. Determining Optical Parameters for Inaccessible Substrates and Unknown Films --
Ch. 5. Extremely Thin Films --
Ch. 6. The Special Case of Polysilicon --
Ch. 7. The Effect of Roughness --
Case Studies --
Case 1. Dissolution and Swelling of Thin Polymer Films --
Case 2. Ion Beam Interaction with Silicon --
Case 3. Dry Oxidation of Metals --
Case 4. Optical Properties of Sputtered Chromium Suboxide Thin Films --
Case 5. Ion-Assisted Film Growth of Zirconium Dioxide --
Case 6. Electrochemical/Ellipsometric Studies of Oxides on Metals --
Case 7. Amorphous Hydrogenated Carbon Films --
Case 8. Fluoropolymer Films on Silicon from Reactive Ion Etching --
Case 9. Various Films on InP --
Case 10. Benzotriazole and Benzimidazole on Copper --
Case 11. Gas Adsorption on Metal Surfaces --
Case 12. Silicon-Germanium Thin Films --
Case 13. Profiling of HgCdTe --
Case 14. Oxides and Nitrides of Silicon --
Appendix A: Del/Psi Trajectory Calculations --
Appendix B: Effective Medium Considerations --
Appendix C: Literature Values of Optical Constants of Various Materials.
Verantwoordelijkheid: Harland G. Tompkins.
Opmerkingen over dit item worden opgehaald. Opmerkingen over dit item worden opgehaald.

Beoordelingen

Beoordelingen door gebruikers

Tags

Wees de eerste.
Bevestig deze aanvraag

Misschien heeft u dit item al aangevraagd. Selecteer OK als u toch wilt doorgaan met deze aanvraag.

Venster sluiten

Meld u aan bij WorldCat 

Heeft u geen account? U kunt eenvoudig een nieuwe gratis account aanmaken.