přejít na obsah
A user's guide to ellipsometry Náhled dokumentu
ZavřítNáhled dokumentu

A user's guide to ellipsometry

Autor Harland G Tompkins
Vydavatel: Mineola, N.Y. : Dover Publications, 2006.
Vydání/formát:   Tištěná kniha : EnglishZobrazit všechny vydání a formáty
Shrnutí:
This text on optics for graduate students explains how to determine material properties and parameters for inaccessible substrates and unknown films as well as how to measure extremely thin films. Fourteen case studies illustrate concepts and applications.
Zpřístupňování online kopie dokumentu... Zpřístupňování online kopie dokumentu...

Vyhledat exemplář v knihovně

Získávání informací o lokaci a dostupnosti tohoto dokumentu... Získávání informací o lokaci a dostupnosti tohoto dokumentu...

WorldCat

Vyhledat v knihovnách obecně
Knihovny na světě vlastní tento dokument

Detaily

Žánr/forma: Case studies
Fallstudiensammlung
Typ materiálu: Internetový zdroj
Typ dokumentu Kniha, Internetový zdroj
Všichni autoři/tvůrci: Harland G Tompkins
ISBN: 0486450287 9780486450285
OCLC číslo: 64511093
Poznámky: Originally published: Boston : Academic Press, ©1993.
Popis: xii, 260 pages : illustrations ; 22 cm
Obsahy: Theoretical aspects --
Instrumentation --
Using optical parameters to determine material properties --
Determining optical parameters for inaccessible substrates and unknown films --
Extremely thin films --
The special case of polysilicon --
The effect of roughness --
Dissolution and swelling of thin polymer films --
Ion beam interaction with silicon --
Dry oxidation of metals --
Optical properties of sputtered chromium suboxide thin films --
Ion-assisted film growth of zirconium dioxide --
Electrochemical/ellipsometric studies of oxides on metals --
Amorphous hydrogenated carbon films --
Fluoropolymer films on silicon from reactive ion etching --
Various films on InP --
Benzotriazole and benzimidazole on copper --
Gas adsorption on metal surfaces --
Silicon-germanium thin films --
Profiling of HgCdTe --
Oxides and nitrides of silicon --
Del/psi trajectory calculations --
Effective medium considerations --
Literature values of optical constants of various materials.
Odpovědnost: Harland G. Tompkins.

Anotace:

This text on optics for graduate students explains how to determine material properties and parameters for inaccessible substrates and unknown films as well as how to measure extremely thin films. Fourteen case studies illustrate concepts and applications.
Vyhledávání poznámek o tomto dokumentu Vyhledávání poznámek o tomto dokumentu

Recenze

Recenze vložené uživatelem

Štítky

Buďte první.
Potvrdit tento požadavek

Tento dokument jste si již vyžádali. Prosím vyberte Ok pokud chcete přesto v žádance pokračovat.

Zavřít okno

Prosím přihlaste se do WorldCat 

Nemáte účet? Můžete si jednoduše vytvořit bezplatný účet.