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A User's guide to ellipsometry

Autor: Harland G Tompkins
Verlag: Boston : Academic Press, ©1993.
Ausgabe/Medienart   Gedrucktes Buch : EnglischAlle Ausgaben und Medienarten anzeigen
Zusammenfassung:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Weiterlesen…

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Details

Dokumenttyp Buch
Alle Autoren: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
OCLC-Nummer: 802416413
Beschreibung: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
Inhalt: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
Verfasserangabe: Harland G. Tompkins.
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