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A User's guide to ellipsometry

Autor: Harland G Tompkins
Editorial: Boston : Academic Press, ©1993.
Edición/Formato:  Libro impreso : Inglés (eng)Ver todas las ediciones y todos los formatos
Resumen:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Leer más

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Detalles

Tipo de documento Libro
Todos autores / colaboradores: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
Número OCLC: 802416413
Descripción: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
Contenido: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
Responsabilidad: Harland G. Tompkins.

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