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A User's guide to ellipsometry

Auteur : Harland G Tompkins
Éditeur: Boston : Academic Press, ©1993.
Édition/format:   Livre imprimé : AnglaisVoir toutes les éditions et tous les formats
Résumé:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Lire la suite...

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Détails

Type de document: Livre
Tous les auteurs / collaborateurs: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
Numéro OCLC: 802416413
Description: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
Contenu: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
Responsabilité: Harland G. Tompkins.
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