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A User's guide to ellipsometry

Autore: Harland G Tompkins
Pubblicazione: Boston : Academic Press, ©1993.
Edizione/Formato:   Libro a stampa : EnglishVedi tutte le edizioni e i formati
Sommario:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Per saperne di più…

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Dettagli

Tipo documento Libro
Tutti gli autori / Collaboratori: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
Numero OCLC: 802416413
Descrizione: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
Contenuti: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
Responsabilità: Harland G. Tompkins.
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