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Dettagli
Tipo documento | Libro |
---|---|
Tutti gli autori / Collaboratori: |
Harland G Tompkins |
ISBN: | 0126939500 9780126939507 |
Numero OCLC: | 802416413 |
Descrizione: | XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm |
Contenuti: | Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references. |
Responsabilità: | Harland G. Tompkins. |
Maggiori informazioni |

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