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A User's guide to ellipsometry

著者: Harland G Tompkins
出版社: Boston : Academic Press, ©1993.
エディション/フォーマット:   紙書籍 : Englishすべてのエディションとフォーマットを見る
概要:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  続きを読む

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ドキュメントの種類 書籍
すべての著者/寄与者: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
OCLC No.: 802416413
物理形態: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
コンテンツ: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
責任者: Harland G. Tompkins.
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