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A User's guide to ellipsometry

저자: Harland G Tompkins
출판사: Boston : Academic Press, ©1993.
판/형식:   인쇄본 : 영어모든 판과 형식 보기
요약:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  더 읽기…

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상세정보

문서 유형 도서
모든 저자 / 참여자: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
OCLC 번호: 802416413
설명: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
내용: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
책임: Harland G. Tompkins.
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