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상세정보
| 문서 유형 | 도서 |
|---|---|
| 모든 저자 / 참여자: |
Harland G Tompkins |
| ISBN: | 0126939500 9780126939507 |
| OCLC 번호: | 802416413 |
| 설명: | XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm |
| 내용: | Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references. |
| 책임: | Harland G. Tompkins. |
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