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A User's guide to ellipsometry

Autor: Harland G Tompkins
Editora: Boston : Academic Press, ©1993.
Edição/Formato   Imprimir livro : InglêsVer todas as edições e formatos
Resumo:

Specifically designed for the user who wants expanded use of ellipsometry beyond the relatively limited number of turn-key applications, this text provides comprehensive discussion of the measurement  Ler mais...

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Detalhes

Tipo de Documento Livro
Todos os Autores / Contribuintes: Harland G Tompkins
ISBN: 0126939500 9780126939507
Número OCLC: 802416413
Descrição: XV, 260 p. : gràf. ; 24 cm
Conteúdos: Theoretical aspects; instrumentation; using optical parameters to determine material properties; determining optical parameters for inaccesible substrates and unknown films; extremely thin films; the special case of polysilicon; the effect of roughness; case studies; chapter references.
Responsabilidade: Harland G. Tompkins.
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